ファインセラミック 炭化ケイ素（SiC） 2021.11.22 ファインセラミック 特性 高温機械強度、耐摩耗、高熱伝導、耐食 金他のファインセラミックスに比べて高温域での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性が高い。 用途 軸受け、シャフト、メカニカルシール、フォーカスリング、半導体製造装置のウェハーフォーク、高温試験機部品 など 炭化ケイ素（SiC）前の記事 アドセラム次の記事
